Hohe Präzisions- und Genauigkeitsmessung
KMG und Positionierungsausrüstung
Saint-Gobain Performance Ceramics & Refractories ist ein führender Anbieter von kundenspezifischen Siliziumcarbidkomponenten für Messanwendungen.
Dazu gehören Träger für die Z-Achse und Brücken von KMGs sowie Platten für die luftgelagerte Bühne von Bewegungssteuerungsgeräten.
FAQ
Wie können Positionierungsgeräte Siliziumcarbidkeramiken nutzen?
Siliziumcarbidplatten sind eine ausgezeichnete Wahl für luftgelagerte Tische, die in Positionierungsgeräten verwendet werden, insbesondere bei der Inspektion von Halbleiterwafern, bei denen eine enge Übereinstimmung zwischen der Wärmeausdehnung des Siliziumwafers und des Siliziumcarbidtisches gewährleistet werden soll.
Wie lassen sich die Eigenschaften von Siliciumcarbid mit denen von Aluminiumoxid vergleichen?
Im Vergleich zu Aluminiumoxid ist Siliziumcarbid ein leichteres Material, hat eine geringere Wärmeausdehnung, eine höhere Wärmeleitfähigkeit und eine höhere spezifische Steifigkeit.
Warum sollten sich die Konstrukteure von Messtechnik für Strukturbauteile für Siliziumcarbid entscheiden?
Strukturelle Komponenten wie die Z-Achse, die Brücke und die Stützsäulen sind leichter, wenn sie aus Siliziumcarbid hergestellt sind, und ermöglichen einen schnelleren Transport und eine höhere Kapazität, um Temperaturänderungen auszugleichen.
