Spezialkeramiken
Die Spezialkeramikprodukte von Saint-Gobain Performance Ceramics & Refractories helfen unserem Kunden bei der Bewältigung schwieriger Herausforderungen in der thermischen und chemischen Verarbeitung, bei Wärmetauschern, in der industriellen Messtechnik, bei der Temperaturmessung, beim Löten/Schweißen, bei mechanischen Dichtungen, bei der Verarbeitung von Halbleiterwafern, beim Sandstrahlen sowie bei der Erzeugung erneuerbarer Energien.
Das Portfolio der Spezialkeramik besteht aus einer breiten Palette von Produkten, die unter bekannten Marken vertrieben werden:
- Hexoloy® gesintertes Siliziumcarbid
- Norbide® heißgepresstes Borcarbid
- Noralid® heißgepresstes Siliziumnitrid
- Silit® silikonisiertes Siliziumcarbid
- Advancer® N-Durance, Refrax 20E nitridgebundenes Siliziumcarbid
- Alundum® Aluminiumoxid-Materialien
- Magnorit® MgO-Materialien
- Durafrax® Aluminiumoxid-Materialien
- Lithafrax™ Lithium-Aluminium-Silikat-Füllstoffe
Saint-Gobain Performance Ceramics & Refractories nutzt Materialkompetenz, innovatives Design, kreative Ingenieurskunst und präzise Fertigungsprozesse, um zuverlässige Lösungen für globale Kunden in Automobilindustrie, chemisch, Luft-und Raumfahrt, Nichteisenmetalle, Kernenergie und andere erneuerbare Energie, Industriepumpen und Dichtungsindustrie; sowie OEM-Ausrüster und Werkstätten.
Lösung nach Anwendung
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Halbleiter-Wafer-Herstellung
Siliziumkarbid-Komponenten
Eine Reihe von Hexoloy®SA- und SG-Komponenten können in Anlagen zur Bearbeitung von Halbleiterwafern verwendet werden, einschließlich Vakuumspannvorrichtungen, chemisch chemisch-mechanische Polierblöcke (CMP) und Wafer-Trägerschalen.
Diese Anwendungen nutzen die Vorteile von Hexoloy-Siliciumcarbid, nämlich die mit Silicium vergleichbare Wärmeausdehnung, den hohen Elastizitätsmodul, die chemische Inertheit und die hohe Wärmeleitfähigkeit. Hexoloy-Siliciumcarbid eignet sich hervorragend als Strukturmaterial für Waferträgerkomponenten mit geringem Gewicht und für starre, formstabile Plattformen mit außergewöhnlicher Ebenheit zum Schleifen, Läppen und Polieren von Wafern.
Die Werkstoffe Silit® SK SiSiC und Advancer® NB SiC-Materialien werden in den luftgelagerten Tischen von Positionierungseinrichtungen für die Halbleitermesstechnik verwendet.
Eigenschaften und Vorteile
- Strukturfestigkeit und Wärmeausdehnung nahe der von Siliziumwafern
- Chemische Korrosionsbeständigkeit
- Thermische Stabilität
- Auswahl an spezifischen elektrischen Widerstand möglich
Gesinterte Siliziumcarbidmaterialien für die Halbleiterverarbeitung
FAQ
Bietet Saint-Gobain Performance Ceramics & Refractories Produkte für die Messtechnik zur Inspektion von Halbleiterwafern an?
Silit®SiSiC und Advancer ®NB SiC-Produkte werden beim Bau von luftgelagerten Tischen für Positioniereinrichtungen verwendet.
Wie wird gesintertes Siliziumcarbid typischerweise in Anwendungen zur Verarbeitung von Halbleiterwafern verwendet?
Hexoloy® gesintertes Siliziumcarbid kann in einer Vielzahl von Komponenten verwendet werden, darunter:
- Vakuumspannvorrichtungen
- Reaktorrohre für die thermische Oxidation
- Wafer-Schleif- und Polierplatten
- Thermoelement-Schutzrohre
- Wafer-Trägerschalen
- Klammern und Hubstifte
- Sputtertargets
Ist Hexoloy® SiC rein genug, um in der Halbleiter-Wafer-Verarbeitung verwendet zu werden?
Hexoloy® gesintertes Siliziumcarbid ist im Wesentlichen ein einphasiges Material mit mindestens XNUMX% SiC.
In dieser Reinheit ist Hexoloy® erfolgreich bei niedrigen bis mittleren Temperaturen in Wafer-Kontaktanwendungen und kann bis zu XNUMX °C in kontaktlosen Anwendungen eingesetzt werden.
