Utilisation de composants en carbure de silicium pour la manipulation et l'inspection des plaquettes
Le Carbure de silicium (SiC) est un composé chimique dur composé de silicium et de carbone, et il existe sous environ 250 formes cristallines différentes. Le polymorphe le plus courant est "α" -SiC, qui a une structure cristalline hexagonale. Outre une dureté très élevée, le carbure de silicium présente plusieurs caractéristiques qui en font un matériau d'ingénierie recherché.
En particulier, il est hautement inerte chimiquement et ne fond à aucune température connue : au lieu de cela, il passe d'un solide à un gaz à la température très élevée de 2,800°C, ce qui le rend extrêmement utile pour les roulements et les composants de four.
Depuis sa première fabrication à la fin du 19th siècle, le carbure de silicium a été adapté à une vaste gamme d'applications. Il est encore utilisé à grande échelle comme abrasif, en particulier dans les processus d'usinage tels que le meulage et le sablage. Des grains de carbure de silicium peuvent également être frittés ensemble pour former des céramiques incroyablement dures et résistantes, qui sont généralement utilisées pour des applications résistantes telles que les freins de voiture et les gilets pare-balles. Le carbure de silicium est également un semi-conducteur, ce qui lui vaut une gamme d'applications en électronique de puissance, notamment dans la production de motorisations de véhicules électriques (VE).
Applications du carbure de silicium dans la fabrication de semi-conducteurs
Alors que les dimensions critiques des dispositifs à semi-conducteurs continuent de diminuer, leur sensibilité augmente. Les usines modernes de fabrication de semi-conducteurs doivent veiller à maintenir les semi-conducteurs dans un environnement complètement inerte et à les protéger de toute forme possible de corrosion ou d'attaque chimique.
Le carbure de silicium est un matériau idéal pour les applications de semi-conducteurs grâce à son extrême inertie chimique. Par exemple, l’Hexoloy®, carbure de silicium de Saint-Gobain offre une pureté chimique extrêmement élevée (> 98 %) sans silicium libre, ainsi qu'une résistance supérieure à l'oxydation même à des températures élevées. Cela le rend idéal pour les applications de manipulation et d'inspection de plaquettes, où l'élimination des contaminants et la prévention des réactions chimiques indésirables sont essentielles.
Produits Saint-Gobain en carbure de silicium pour les applications semi-conductrices
Hexoloy® SA SiC est une forme frittée sans pression de carbure de silicium alpha avec une densité extrêmement élevée (plus de 98% du maximum théorique). Offrant une structure à grain très fin (4-10 microns) et ne contenant aucun silicium libre, il est également très résistant à l'usure due aux forces de rotation ou de glissement. Hexoloy® SA est parfaitement adapté aux applications de semi-conducteurs, notamment :
• Plaques de meulage et de polissage de plaquettes
• Disques pour mandrins à vide
• Pinces à plaquettes
• Porte-wafers
• Tubes de réacteur pour l'oxydation thermique
Les qualités d'Hexoloy® pour les applications de semi-conducteurs incluent les conducteurs électriques Hexoloy® SG pour les cibles de pulvérisation, et Hexoloy® SE pour tubes de protection thermocouple à une extrémité (COE).
De plus, notre gamme de produits SiC infiltrés silicium, Silit® exploite la légèreté et la grande rigidité du carbure de silicium pour une précision absolue et des vitesses élevées dans les équipements de métrologie industrielle. Nos barreaux Silit® établissent une référence de haute performance pour les poutres de construction utilisées dans les étages d'axe Z, de pont et de palier à air.
Saint-Gobain est un leader mondial dans la production de matériaux réfractaires hautes performances pour toutes les applications. Parallèlement à notre gamme existante de produits en carbure de silicium, nous offrons notre expertise à nos clients sous la forme de solutions matérielles uniques et novatrices adaptées aux applications les plus exigeantes. Pour découvrir comment Saint-Gobain peut vous aider dans votre application d'ingénierie, contactez-nous dès aujourd'hui pour discuter du co-développement d'un nouveau matériau.
