Céramiques de spécialité

Les produits céramiques de spécialité de Saint-Gobain Performance Ceramics & Refractories aident les clients à relever des défis uniques dans les domaines du traitement thermique et chimique, des échangeurs de chaleur, de la métrologie industrielle, de la détection de température, du brasage, des garnitures mécaniques, du traitement des plaquettes semi-conductrices, du sablage et des applications de production d'énergie renouvelable.

 

Le portefeuille de céramiques de spécialité se compose d'une large gamme de produits, vendus sous des marques connues :

  • Hexoloy® carbure de silicium fritté
  • Norbide® carbure de bore pressé à chaud
  • Noralide® nitrure de silicium pressé à chaud
  • Les tubes radiants en céramique, les récupérateurs, les tubes à flamme et les chambres de combustion Silit® carbure de silicium siliconé
  • Avanceur® N-Durance, Refrax 20E carbure de silicium lié au nitrure
  • Alundum® Matériaux d'oxyde d'aluminium
  • Magnorite® matériaux MgO
  • Durafrax® Matériaux d'alumine
  • Charges inorganiques Lithafrax™ Lithium Aluminium Silicate

 

Saint-Gobain Performance Ceramics & Refractories s'appuie sur l'expertise des matériaux, des conceptions innovantes, une ingénierie créative et des procédés de fabrication de précision pour fournir des solutions fiables à des clients mondiaux dans l'automobile, chimique, aérospatial, métaux non-ferreux, nucléaire qualité des énergies renouvelables, pompes industrielles et industries d'étanchéité; ainsi que les fabricants d'équipements OEM et les ateliers d'usinage.

Solution par application

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Traitement des plaquettes de semi-conducteur

Composants en carbure de silicium

 
Les produits de Saint Gobain Specialty Ceramics permettent aux clients de résoudre des problèmes difficiles dans les domaines du traitement thermique et chimique, de la métrologie industrielle, de la détection de température, du brasage, des garnitures mécaniques, du traitement des semi-conducteurs, du sablage et des applications de production d'énergie renouvelable.

Les composants de la gamme Hexoloy® SA et SG peuvent être utilisés dans les équipements de traitement de plaquettes semi-conductrices, y compris les mandrins à vide, les blocs de polissage mécano-chimique (CMP) et les plateaux de support de plaquettes.

 

Ces applications tirent parti de l'adaptation de la dilatation thermique du carbure de silicium Hexoloy au silicium, d'un module d'élasticité élevé, d'une inertie chimique et d'une conductivité thermique élevée. Le carbure de silicium Hexoloy est bien adapté comme matériau structurel pour les composants de support de plaquettes de faible masse et les plates-formes rigides dimensionnellement stables avec une planéité exceptionnelle pour le meulage, le rodage et le polissage des plaquettes.

 

Les matériaux Silit®SK SiSiC et Advancer ® NB SiC sont utilisés dans les étages à coussin d'air des équipements de positionnement de métrologie à semi-conducteurs.

 

Caractéristiques et avantages

  • Résistance structurelle et dilatation thermique proches de celles d'une plaquette de silicium
  • Résistance à la corrosion chimique
  • Stabilité thermique
  • Une gamme de résistivité électrique

Matériaux de carbure de silicium fritté pour le traitement des semi-conducteurs

Environnement de test Perte de poids corrosive (mg / cm2 an)
Deck Densité
(G / cc)
Résistance à la flexion
(MPa)
Résistivité électrique
(ohm-cm)
Conductivité thermique
(W/m⋅K)
Module d'élasticité
(GPa)
Hexoloy® SA 3.15 380 102 à 106 125 410
Hexoloy®SG (SiC fritté avec carbone libre) 3.0 311 1 118 376

 

FAQ

Saint-Gobain Performance Ceramics & Refractories propose-t-il des produits pour les équipements de métrologie d'inspection des tranches de semi-conducteurs ?

Les produits Silit®SiSiC et Advancer ® NB SiC sont utilisés dans la construction d'étages à coussin d'air pour le positionnement d'équipements.

Comment le carbure de silicium fritté est-il généralement utilisé dans les applications de traitement de plaquettes semi-conductrices ?

Hexoloy® le carbure de silicium fritté peut être utilisé dans une large gamme de composants, notamment :

  • Mandrins à vide
  • Tubes de réacteur pour oxydation thermique
  • Plaques de meulage et de polissage de wafer
  • Tubes de protection thermocouple
  • Plateaux de transport de gaufrettes
  • Pinces et goupilles de levage
  • Cibles de pulvérisation

L'Hexoloy® SiC est-il suffisamment pur pour être utilisé dans le traitement des tranches de semi-conducteurs ?

Hexoloy® le carbure de silicium fritté est essentiellement un matériau monophasique avec au moins 98% de SiC.

 

A cette pureté, Hexoloy® peut être utilisé avec succès à des températures basses à modérées dans les applications de contact de plaquettes, et jusqu'à 1,300 XNUMX °C dans les applications sans contact.