Matériaux semi-conducteurs

Le carbure de silicium fritté Hexoloy® SA offre une forme et des propriétés thermiques exceptionnelles pour la production de composants semi-conducteurs.

Le carbure de silicium fritté Hexoloy® SA est utilisé dans la production de composants pour le traitement de plaquettes semi-conductrices tels que les mandrins sous vide, les blocs de polissage mécano-chimique (CMP) et les suscepteurs. Son expansion thermique correspond au silicium, son module élastique élevé, son inertie chimique garantit les avantages économiques de la maintenance et de la réutilisation, et sa conductivité thermique élevée pour un chauffage uniforme et rapide de la tranche de silicium.

Le carbure de silicium Hexoloy® SA est produit par frittage d'une poudre de carbure de silicium submicronique. Le processus de frittage donne un produit SiC à grain fin auto-lié (moins de 10 μm) qui est extrêmement dur, léger et à faible porosité. Une aptitude au façonnage et une résistance à la corrosion, à l'érosion, aux températures élevées et aux chocs thermiques exceptionnels sont d'autres avantages clés.