Mesure de haute précision et précision
CMM et équipement de positionnement
Saint-Gobain Performance Ceramics & Refractories est l'un des principaux fournisseurs de composants en carbure de silicium de forme personnalisée pour les applications de mesure.
Ceux-ci comprennent des poutres pour l'axe Z et le pont des MMT, et des plaques pour l'étage à coussin d'air de l'équipement de contrôle de mouvement.
FAQ
Comment les équipements de positionnement peuvent-ils utiliser les céramiques en carbure de silicium ?
Les plaques de carbure de silicium sont un excellent choix pour l'étage à coussin d'air utilisé dans les équipements de positionnement, en particulier pour l'inspection des tranches de semi-conducteurs où il est conseillé d'assurer une correspondance étroite entre la dilatation thermique de la tranche de silicium et l'étage de carbure de silicium.
Comment les propriétés du carbure de silicium se comparent-elles à celles de l'oxyde d'aluminium ?
Par rapport à l'oxyde d'alumine, le carbure de silicium est un matériau plus léger, a une dilatation thermique plus faible, une conductivité thermique plus élevée et une rigidité spécifique plus élevée.
Pourquoi les concepteurs d'équipements de métrologie devraient-ils choisir le carbure de silicium pour les composants structurels ?
Les composants structurels, tels que l'axe Z, les ponts et les colonnes de support, sont plus légers lorsqu'ils sont fabriqués avec du carbure de silicium, ce qui permet un déplacement plus rapide et une capacité accrue pour s'adapter aux changements de température.
