Céramiques de spécialité

Les produits céramiques de spécialité de Saint-Gobain Performance Ceramics & Refractories aident les clients à relever des défis uniques dans les domaines du traitement thermique et chimique, des échangeurs de chaleur, de la métrologie industrielle, de la détection de température, du brasage, des garnitures mécaniques, du traitement des plaquettes semi-conductrices, du sablage et des applications de production d'énergie renouvelable.

 

Le portefeuille de céramiques de spécialité se compose d'une large gamme de produits, vendus sous des marques connues :

 

Saint-Gobain Performance Ceramics & Refractories s'appuie sur l'expertise des matériaux, des conceptions innovantes, une ingénierie créative et des procédés de fabrication de précision pour fournir des solutions fiables à des clients mondiaux dans l'automobile, chimique, aérospatial, métaux non-ferreux, nucléaire et des énergies renouvelables, pompes industrielles et industries d'étanchéité; ainsi que les fabricants d'équipements OEM et les ateliers d'usinage.

Solution par application

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Traitement des plaquettes de semi-conducteur

Composants en carbure de silicium

 
Les produits de Saint Gobain Specialty Ceramics permettent aux clients de résoudre des problèmes difficiles dans les domaines du traitement thermique et chimique, de la métrologie industrielle, de la détection de température, du brasage, des garnitures mécaniques, du traitement des semi-conducteurs, du sablage et des applications de production d'énergie renouvelable.

Les composants de la gamme Hexoloy® SA et SG peuvent être utilisés dans les équipements de traitement de plaquettes semi-conductrices, y compris les mandrins à vide, les blocs de polissage mécano-chimique (CMP) et les plateaux de support de plaquettes.

 

Ces applications tirent parti de la dilatation thermique du carbure de silicium Hexoloy et des avantages du silicium, élasticité élevé, inertie chimique et conductivité thermique élevée. Le carbure de silicium Hexoloy est bien adapté comme matériau structurel pour les plaquettes de faible masse et les surfaces rigides et stables avec une planéité exceptionnelle pour le meulage, le rodage et le polissage des plaquettes.

 

Les matériaux Silit®SK SiSiC et Advancer ® NB SiC sont utilisés dans les étages à coussin d'air des équipements de positionnement de métrologie à semi-conducteurs.

 

Caractéristiques et avantages

  • Résistance structurelle et dilatation thermique proches de celles d'une plaquette de silicium
  • Résistance à la corrosion chimique
  • Stabilité thermique
  • Une gamme de résistance électrique

Matériaux de carbure de silicium fritté pour le traitement des semi-conducteurs

Environnement de test Perte de poids corrosive (mg / cm2 an)
Matières Densité
(G / cc)
Résistance à la flexion
(MPa)
Résistivité électrique
(ohm-cm)
Conductivité thermique
(W/m⋅K)
Module d'élasticité
(GPa)
Hexoloy® SA 3.15 380 102 à 106 125 410
Hexoloy®SG (SiC fritté avec carbone libre) 3.0 311 1 118 376

 

FAQ

Saint-Gobain Performance Ceramics & Refractories propose-t-il des produits pour les équipements de métrologie d'inspection des tranches de semi-conducteurs ?

Les produits Silit® SiSiC et Advancer® NB SiC sont utilisés dans la construction d'étages à coussin d'air pour le positionnement d'équipements.

Comment le carbure de silicium fritté est-il généralement utilisé dans les applications de traitement de plaquettes semi-conductrices ?

Hexoloy® carbure de silicium fritté peut être utilisé dans une large gamme de composants, notamment :

  • Mandrins à pression
  • Tubes de réacteur pour oxydation thermique
  • Plaquette de meulage et polissage
  • Tubes de protection thermocouple
  • Plaquette de supports
  • Elévateurs et barres de serrage.
  • Pulvérisation cathodique

L'Hexoloy® SiC est-il suffisamment pur pour être utilisé dans le traitement des plaquettes de semi-conducteurs ?

Hexoloy® carbure de silicium fritté est essentiellement un matériau monophasique avec au moins XNUMX% de SiC.

 

A ce niveau de pureté, Hexoloy® peut être utilisé avec succès pour des températures basses à modérées pour des plaquettes de contact (semi-conducteur), et jusqu'à XNUMX XNUMX °C sans contact.