28 de Junho de 2022

Usando componentes de carboneto de silício para manuseio e inspeção de wafer

Carboneto de silício (SiC) é um composto químico duro que consiste em silício e carbono, e existe em cerca de 250 formas cristalinas diferentes. O polimorfo mais comum é "α" -SiC, que tem uma estrutura cristalina hexagonal. Juntamente com uma dureza muito alta, o carboneto de silício apresenta várias características que o tornam um material de engenharia desejável.

Em particular, é altamente inerte quimicamente e não derrete a nenhuma temperatura conhecida: em vez disso, sublima de um sólido para um gás à temperatura muito alta de 2,800°C, tornando-o extremamente útil para rolamentos e componentes de fornos.

Desde que foi fabricado pela primeira vez no final de 19th século, o carboneto de silício foi adaptado a uma vasta gama de aplicações. Ainda é usado em larga escala como abrasivo, principalmente em processos de usinagem, como retificação e jateamento. Grãos de carboneto de silício também podem ser sinterizados para formar cerâmicas incrivelmente duras e resistentes, que são normalmente usadas para aplicações resistentes, como freios de carros e coletes à prova de balas. O carboneto de silício também é um semicondutor, o que lhe confere uma gama de aplicações em eletrônica de potência, notadamente na produção de powertrains de veículos elétricos (EV).

Aplicações do Carbeto de Silício na Fabricação de Semicondutores

À medida que as dimensões críticas dos dispositivos semicondutores continuam a diminuir, sua sensibilidade aumenta. As fábricas modernas de semicondutores devem ter o cuidado de manter os semicondutores em um ambiente completamente inerte e protegê-los de qualquer possível forma de corrosão ou ataque químico.

O carboneto de silício é um material ideal para aplicações de semicondutores graças à sua extrema inércia química. Por exemplo, Hexoloy® carboneto de silício da Saint-Gobain oferece pureza química extremamente alta (> 98%) sem silício livre, além de resistência à oxidação superior, mesmo em altas temperaturas. Isso o torna ideal para aplicações no manuseio e inspeção de wafers, onde a eliminação de contaminantes e a prevenção de reações químicas indesejadas são críticas.

Produtos de carboneto de silício Saint-Gobain para aplicações de semicondutores

As hastes Hexoloy® SA SiC é uma forma sinterizada sem pressão de carbeto de silício alfa com densidade extremamente alta (mais de 98% do máximo teórico). Oferecendo uma estrutura de grão muito fino (4-10 mícrons) e contendo zero silício livre, também é altamente resistente ao desgaste por rotação ou forças de deslizamento. Hexoloy® SA é ideal para aplicações de semicondutores, incluindo:

• Placas de moagem e polimento de wafer

• Discos para Mandris de Vácuo

• Grampos de bolacha

• Portadores de bolachas

• Tubos do Reator para Oxidação Térmica

Outro Hexoloy® produtos com aplicações de semicondutores incluem o condutor eletricamente As hastes Hexoloy® SG para alvos de pulverização, e As hastes Hexoloy® SE para tubos de proteção de termopar de extremidade fechada (COE).

Além disso, nossa linha de produtos SiC siliconizados Silit® explora o peso leve e a alta rigidez do carboneto de silício para precisão absoluta e altas velocidades em equipamentos de metrologia industrial. Nosso Silício® As vigas estabelecem uma referência de alto desempenho para vigas de construção usadas no eixo Z, ponte e estágios de rolamento de ar.

A Saint-Gobain é líder mundial na produção de materiais refratários de alto desempenho para todas as aplicações. Ao lado de nossa linha existente de produtos de carboneto de silício, oferecemos nossa experiência aos clientes na forma de soluções de materiais exclusivas e inovadoras, adaptadas às aplicações mais desafiadoras. Para saber como a Saint-Gobain pode ajudar sua aplicação de engenharia, entre em contato conosco hoje para discutir o co-desenvolvimento de um novo material.