Cerâmica especializada
Os produtos cerâmicos especializados da Saint-Gobain Performance Ceramics & Refractories ajudam os clientes a enfrentar os desafios comuns em processamento térmico e químico, trocadores de calor, metrologia industrial, sensor de temperatura, brasagem, selos mecânicos, processamento de wafer de semicondutor, jato de areia e aplicações de geração de energia renovável.
O portfólio de cerâmicas especiais consiste em vários produtos, vendidos como marcas bem conhecidas:
- Hexoloy® Carbeto de silício sinterizado
- Norbide® carbeto de boro prensado a quente
- Noralide® nitreto de silício prensado a quente
- Silit® carbeto de silício siliconizado
- Avançado® N-Durance, carboneto de silício ligado a nitreto de Refrax 20E
- Alundum® Materiais de óxido de alumínio
- Magnorita® Materiais MgO
- Durafrax® Materiais de alumina
- Lithafrax™ Silicato de Lítio e Silicato de Alumínio cargas inorgânicas
A Saint-Gobain Performance Ceramics & Refractories utiliza experiência em materiais, projetos inovadores, engenharia criativa e processos de fabricação de precisão para fornecer soluções confiáveis para clientes globais em automotivo, químico, aeroespaço, metais não ferrosos, nuclear e outro energia renovável, bombas industriais e indústrias de vedação; bem como fabricantes de equipamentos OEM e oficinas mecânicas.
Solução por aplicações
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Processamento de pastilhas semicondutoras
Componentes de carbeto de silício
Uma gama de componentes Hexoloy® SA e SG pode ser utilizada em equipamento de processamento de pastilhas semicondutoras, incluindo mandris de vácuo, blocos de polimento mecânico químico (CMP) e bandejas de transporte de pastilhas.
A expansão térmica da Hexoloy<sup>®</sup> corresponde à do silício, enquanto o seu elevado módulo elástico e inércia química asseguram benefícios econômicos significativos, incluindo facilidade de manutenção e potencial para reutilização. A sua alta condutividade térmica assegura um aquecimento uniforme e rápido da pastilha de silício. O Hexoloy<sup>®</sup> SiC proporciona uma excelente estabilidade de forma, resistência ao desgaste, resistência química e propriedades térmicas que são ideais para a produção de componentes semicondutores.
Os materiais Silit® SK SiSiC e Advancer® NB SiC também têm sido utilizados nas fases de suporte de ar do equipamento de posicionamento de metrologia de semicondutores
Características e benefícios
- Resistência estrutural e expansão térmica próxima da pastilha de silício
- Resistência à corrosão química
- Estabilidade térmica
- Uma gama de resistividade elétrica
Materiais sinterizados de carboneto de silício para processamento de semicondutores
Perguntas frequentes
A Saint-Gobain Performance Ceramics & Refractories oferece produtos para equipamento metrológico de inspeção de pastilhas semicondutoras?
Os produtos Silit® SiSiC e Advancer® NB SiC têm sido utilizados na construção de fases de suporte de ar para equipamento de posicionamento.
Como é que o carbeto de silício sinterizado é tipicamente utilizado em aplicações de processamento de pastilhas semicondutoras?
O carbeto de silício sinterizado Hexoloy® pode ser utilizado numa vasta gama de componentes, incluindo:
- Mandris de vácuo
- Tubos de reatores para oxidação térmica
- Placas de trituração e polimento de pastilhas
- Tubos de proteção termopar
- Tabuleiros porta pastilhas
- Grampos e pinos de elevação
- Filtros alvo
O Hexoloy® SiC é puro o suficiente para ser utilizado no processamento de pastilhas semicondutoras?
O carbeto de silício sinterizado Hexoloy® é essencialmente um material monofásico com pelo menos 98% de SiC.
Com esta pureza, o Hexoloy® pode ser utilizado com sucesso a temperaturas baixas a moderadas em aplicações de contato com pastilhas, e até 1300 °C em aplicações sem contato.
