Cerâmica especializada

Os produtos cerâmicos especializados da Saint-Gobain Performance Ceramics & Refractories ajudam os clientes a enfrentar os desafios comuns em processamento térmico e químico, trocadores de calor, metrologia industrial, sensor de temperatura, brasagem, selos mecânicos, processamento de wafer de semicondutor, jato de areia e aplicações de geração de energia renovável.

 

O portfólio de cerâmicas especiais consiste em vários produtos, vendidos como marcas bem conhecidas:

 

A Saint-Gobain Performance Ceramics & Refractories utiliza experiência em materiais, projetos inovadores, engenharia criativa e processos de fabricação de precisão para fornecer soluções confiáveis ​​para clientes globais em automotivo, químico, aeroespaço, metais não ferrosos, nuclear e outro energia renovável, bombas industriais e indústrias de vedação; bem como fabricantes de equipamentos OEM e oficinas mecânicas.

Solução por aplicações

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Processamento de pastilhas semicondutoras

Componentes de carbeto de silício

 
Os produtos da Saint Gobain Specialty Ceramics permitem que os clientes resolvam problemas difíceis em aplicações de processamento térmico e químico, metrologia industrial, sensor de temperatura, brasagem, selos mecânicos, processamento de semicondutores, jato de areia e geração de energia renovável.

Uma gama de componentes Hexoloy® SA e SG pode ser utilizada em equipamento de processamento de pastilhas semicondutoras, incluindo mandris de vácuo, blocos de polimento mecânico químico (CMP) e bandejas de transporte de pastilhas.

 

A expansão térmica da Hexoloy<sup>®</sup> corresponde à do silício, enquanto o seu elevado módulo elástico e inércia química asseguram benefícios econômicos significativos, incluindo facilidade de manutenção e potencial para reutilização. A sua alta condutividade térmica assegura um aquecimento uniforme e rápido da pastilha de silício. O Hexoloy<sup>®</sup> SiC proporciona uma excelente estabilidade de forma, resistência ao desgaste, resistência química e propriedades térmicas que são ideais para a produção de componentes semicondutores.

 

Os materiais Silit® SK SiSiC e Advancer® NB SiC também têm sido utilizados nas fases de suporte de ar do equipamento de posicionamento de metrologia de semicondutores

 

Características e benefícios

  • Resistência estrutural e expansão térmica próxima da pastilha de silício
  • Resistência à corrosão química
  • Estabilidade térmica
  • Uma gama de resistividade elétrica

Materiais sinterizados de carboneto de silício para processamento de semicondutores

Ambiente de teste Perda de peso corrosivo (mg / cm2 ano)
Material Densidade
(G / cc)
Força Flexural
(MPa)
Resistividade elétrica
(ohm-cm)
Condutividade Térmica
(W / m⋅K)
Módulo Elástico
(GPa)
As hastes Hexoloy® SA 3.15 380 102 - 106 125 410
As hastes Hexoloy®SG (SiC sinterizado com carbono livre) 3.0 311 1 118 376

 

Perguntas frequentes

A Saint-Gobain Performance Ceramics & Refractories oferece produtos para equipamento metrológico de inspeção de pastilhas semicondutoras?

Os produtos Silit® SiSiC e Advancer® NB SiC têm sido utilizados na construção de fases de suporte de ar para equipamento de posicionamento.

Como é que o carbeto de silício sinterizado é tipicamente utilizado em aplicações de processamento de pastilhas semicondutoras?

O carbeto de silício sinterizado Hexoloy® pode ser utilizado numa vasta gama de componentes, incluindo:

  • Mandris de vácuo
  • Tubos de reatores para oxidação térmica
  • Placas de trituração e polimento de pastilhas
  • Tubos de proteção termopar
  • Tabuleiros porta pastilhas
  • Grampos e pinos de elevação
  • Filtros alvo

O Hexoloy® SiC é puro o suficiente para ser utilizado no processamento de pastilhas semicondutoras?

O carbeto de silício sinterizado Hexoloy® é essencialmente um material monofásico com pelo menos 98% de SiC.

 

Com esta pureza, o Hexoloy® pode ser utilizado com sucesso a temperaturas baixas a moderadas em aplicações de contato com pastilhas, e até 1300 °C em aplicações sem contato.