高精度和准确度测量

三坐标和定位设备

Saint-Gobain Performance Ceramics & Refractories 一直是用于测量应用的定制形状碳化硅组件的领先供应商。

这些包括用于 Z 轴和坐标测量机桥的梁,以及用于运动控制设备空气轴承台的板。

常见问题与解答

定位设备如何利用碳化硅陶瓷?

碳化硅板是定位设备中使用的空气轴承平台的绝佳选择,特别是对于半导体晶圆检测,建议确保硅晶圆和碳化硅平台的热膨胀紧密匹配。

碳化硅的性能与氧化铝的性能相比如何?

与氧化铝相比,碳化硅是一种更轻的材料,具有更低的热膨胀、更高的热导率和更高的比刚度。

为什么计量设备设计人员应该选择碳化硅作为结构部件?

使用碳化硅制成的 Z 轴、桥和支撑柱等结构部件重量更轻,可实现更快的移动并增加适应温度变化的能力。