溅射靶

使用Saint-Gobain 圣戈班公司的Hexoloy®SG碳化硅溅射靶沉积超纯SiC薄膜。

Hexoloy®SG导电碳化硅可用于直流磁控管SiC溅射靶。 

碳化硅薄膜涂层是光学透明的，耐磨和耐腐蚀的，温度稳定的，并且在各种基材上具有出色的附着力。 应用包括光学数据和磁性硬盘，平板玻璃上的硬质保护涂层以及导电或防潮涂层。

优异的导热性，耐腐蚀性和硬度特性可提高其在高温环境下的性能和稳定性。