Les composants de la gamme Hexoloy^® SA et SG peuvent être utilisés dans les équipements de traitement de plaquettes semi-conductrices, y compris les mandrins à vide, les blocs de polissage mécano-chimique (CMP) et les plateaux de support de plaquettes.

Ces applications tirent parti de la dilatation thermique du carbure de silicium Hexoloy et des avantages du silicium, élasticité élevé, inertie chimique et conductivité thermique élevée. Le carbure de silicium Hexoloy est bien adapté comme matériau structurel pour les plaquettes de faible masse et les surfaces rigides et stables avec une planéité exceptionnelle pour le meulage, le rodage et le polissage des plaquettes.

Les matériaux Silit^®SK SiSiC et Advancer ^® NB SiC sont utilisés dans les étages à coussin d'air des équipements de positionnement de métrologie à semi-conducteurs.