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  • Processamento de pastilhas semicondutoras

    Componentes de carbeto de silício
     
    Saint Gobain Specialty Ceramics' products allow customers to solve tough problems in thermal and chemical processing, industrial metrology, temperature sensing, brazing, mechanical seals, semi-conductor processing, sandblasting, and renewable energy generation applications.

    Uma gama de componentes Hexoloy® SA e SG pode ser utilizada em equipamento de processamento de pastilhas semicondutoras, incluindo mandris de vácuo, blocos de polimento mecânico químico (CMP) e bandejas de transporte de pastilhas.

     

    A expansão térmica da Hexoloy® corresponde à do silício, enquanto o seu elevado módulo elástico e inércia química asseguram benefícios econômicos significativos, incluindo facilidade de manutenção e potencial para reutilização. A sua alta condutividade térmica assegura um aquecimento uniforme e rápido da pastilha de silício. O Hexoloy® SiC proporciona uma excelente estabilidade de forma, resistência ao desgaste, resistência química e propriedades térmicas que são ideais para a produção de componentes semicondutores.

     

    Os materiais Silit® SK SiSiC e Advancer® NB SiC também têm sido utilizados nas fases de suporte de ar do equipamento de posicionamento de metrologia de semicondutores

     

  • Características e benefícios

    • Resistência estrutural e expansão térmica próxima da pastilha de silício
    • Resistência à corrosão química
    • Estabilidade térmica
    • Uma gama de resistividade elétrica

  • Materiais sinterizados de carboneto de silício para processamento de semicondutores

    Ambiente de testePerda de peso corrosivo (mg / cm2 ano)
    MaterialDensidade
    (G / cc)    		Força Flexural
    (MPa)    		Resistividade elétrica
    (ohm-cm)    		Condutividade Térmica
    (W / m⋅K)    		Módulo Elástico
    (GPa)
    Hexoloy® SA3.15380102 - 106125410
    Hexoloy®SG (SiC sinterizado com carbono livre)3.03111118376

     

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  • Perguntas frequentes

    Como é que o carbeto de silício sinterizado é tipicamente utilizado em aplicações de processamento de pastilhas semicondutoras?

    O carbeto de silício sinterizado Hexoloy® pode ser utilizado numa vasta gama de componentes, incluindo:

    • Mandris de vácuo
    • Tubos de reatores para oxidação térmica
    • Placas de trituração e polimento de pastilhas
    • Tubos de proteção termopar
    • Tabuleiros porta pastilhas
    • Grampos e pinos de elevação
    • Filtros alvo
    A Saint-Gobain Performance Ceramics & Refractories oferece produtos para equipamento metrológico de inspeção de pastilhas semicondutoras?

    Os produtos Silit® SiSiC e Advancer® NB SiC têm sido utilizados na construção de fases de suporte de ar para equipamento de posicionamento.
    O Hexoloy® SiC é puro o suficiente para ser utilizado no processamento de pastilhas semicondutoras?

    O carbeto de silício sinterizado Hexoloy® é essencialmente um material monofásico com pelo menos 98% de SiC.

     

    Com esta pureza, o Hexoloy® pode ser utilizado com sucesso a temperaturas baixas a moderadas em aplicações de contato com pastilhas, e até 1300 °C em aplicações sem contato.

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