Cerâmica especializada

Os produtos cerâmicos especializados da Saint-Gobain Performance Ceramics & Refractories ajudam os clientes a enfrentar os desafios comuns em processamento térmico e químico, trocadores de calor, metrologia industrial, sensor de temperatura, brasagem, selos mecânicos, processamento de wafer de semicondutor, jato de areia e aplicações de geração de energia renovável.

 

O portfólio de cerâmicas especiais consiste em vários produtos, vendidos como marcas bem conhecidas:

  • Hexoloy® Carbeto de silício sinterizado
  • Nórbido® carbeto de boro prensado a quente
  • Noralide® nitreto de silício prensado a quente
  • Silit® carbeto de silício siliconizado
  • Avançado® N-Durance, carboneto de silício ligado a nitreto de Refrax 20E
  • Alundum® Materiais de óxido de alumínio
  • Magnorita® Materiais MgO
  • Durafrax® Materiais de alumina

 

A Saint-Gobain Performance Ceramics & Refractories utiliza experiência em materiais, projetos inovadores, engenharia criativa e processos de fabricação de precisão para fornecer soluções confiáveis ​​para clientes globais em automotivo, químico, aeroespaço, metais não ferrosos, nuclear e outro energia renovável, bombas industriais e indústrias de vedação; bem como fabricantes de equipamentos OEM e oficinas mecânicas.

Solução por aplicações

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Processamento de pastilhas semicondutoras

Componentes de carbeto de silício

 
Saint Gobain Specialty Ceramics' products allow customers to solve tough problems in thermal and chemical processing, industrial metrology, temperature sensing, brazing, mechanical seals, semi-conductor processing, sandblasting, and renewable energy generation applications.

Uma gama de componentes Hexoloy® SA e SG pode ser utilizada em equipamento de processamento de pastilhas semicondutoras, incluindo mandris de vácuo, blocos de polimento mecânico químico (CMP) e bandejas de transporte de pastilhas.

 

A expansão térmica da Hexoloy® corresponde à do silício, enquanto o seu elevado módulo elástico e inércia química asseguram benefícios econômicos significativos, incluindo facilidade de manutenção e potencial para reutilização. A sua alta condutividade térmica assegura um aquecimento uniforme e rápido da pastilha de silício. O Hexoloy® SiC proporciona uma excelente estabilidade de forma, resistência ao desgaste, resistência química e propriedades térmicas que são ideais para a produção de componentes semicondutores.

 

Os materiais Silit® SK SiSiC e Advancer® NB SiC também têm sido utilizados nas fases de suporte de ar do equipamento de posicionamento de metrologia de semicondutores

 

Características e benefícios

  • Resistência estrutural e expansão térmica próxima da pastilha de silício
  • Resistência à corrosão química
  • Estabilidade térmica
  • Uma gama de resistividade elétrica

Materiais sinterizados de carboneto de silício para processamento de semicondutores

Ambiente de testePerda de peso corrosivo (mg / cm2 ano)
MaterialDensidade
(G / cc)
Força Flexural
(MPa)
Resistividade elétrica
(ohm-cm)
Condutividade Térmica
(W / m⋅K)
Módulo Elástico
(GPa)
Hexoloy® SA3.15380102 - 106125410
Hexoloy®SG (SiC sinterizado com carbono livre)3.03111118376

 

Perguntas frequentes

A Saint-Gobain Performance Ceramics & Refractories oferece produtos para equipamento metrológico de inspeção de pastilhas semicondutoras?

Os produtos Silit® SiSiC e Advancer® NB SiC têm sido utilizados na construção de fases de suporte de ar para equipamento de posicionamento.

Como é que o carbeto de silício sinterizado é tipicamente utilizado em aplicações de processamento de pastilhas semicondutoras?

O carbeto de silício sinterizado Hexoloy® pode ser utilizado numa vasta gama de componentes, incluindo:

  • Mandris de vácuo
  • Tubos de reatores para oxidação térmica
  • Placas de trituração e polimento de pastilhas
  • Tubos de proteção termopar
  • Tabuleiros porta pastilhas
  • Grampos e pinos de elevação
  • Filtros alvo

O Hexoloy® SiC é puro o suficiente para ser utilizado no processamento de pastilhas semicondutoras?

O carbeto de silício sinterizado Hexoloy® é essencialmente um material monofásico com pelo menos 98% de SiC.

 

Com esta pureza, o Hexoloy® pode ser utilizado com sucesso a temperaturas baixas a moderadas em aplicações de contato com pastilhas, e até 1300 °C em aplicações sem contato.