Par rapport à l'oxyde d'alumine, le carbure de silicium est un matériau plus léger, a une dilatation thermique plus faible, une conductivité thermique plus élevée et une rigidité spécifique plus élevée.

Les composants structurels, tels que l'axe Z, les ponts et les colonnes de support, sont plus légers lorsqu'ils sont fabriqués avec du carbure de silicium, ce qui permet un déplacement plus rapide et une capacité accrue pour s'adapter aux changements de température.

Les plaques de carbure de silicium sont un excellent choix pour l'étage à coussin d'air utilisé dans les équipements de positionnement, en particulier pour l'inspection des tranches de semi-conducteurs où il est conseillé d'assurer une correspondance étroite entre la dilatation thermique de la tranche de silicium et l'étage de carbure de silicium.