Using Silicon Carbide Components for Wafer Handling & Inspection

O carboneto de silício (SiC) é um composto químico duro constituído por silício e carbono, e existe em aproximadamente 250 formas cristalinas diferentes. O polimorfo mais comum é «α» -SiC, que tem uma estrutura cristal hexagonal. A par da sua elevada dureza, o carboneto de silício apresenta diversas caraterísticas que o tornam num material de engenharia apetecível.

Designadamente, é altamente inerte quimicamente e não derrete a nenhuma temperatura conhecida, em vez disso, sublima-se de sólido para gás à temperatura muito elevada de 2,800 ºC, tornando-o extremamente útil para rolamentos ou componentes de fornos.

Desde que foi fabricado pela primeira vez, no final do século XNUMX, o carboneto de silício tem sido adaptado a uma ampla gama de aplicações. Continua a ser utilizado em larga escala como um abrasivo, designadamente em processos de maquinagem, tais como trituração e tratamento a jato de areia. Os grãos de carboneto de silício podem igualmente ser sinterizados para formar cerâmicas incrivelmente duras e resistentes, que são tipicamente utilizadas para aplicações duras, tais como travões de automóvel ou coletes à prova de bala. O carboneto de silício é também um semicondutor, conferindo-lhe um lugar numa gama de aplicações na eletrónica de potência, designadamente na produção de grupos motopropulsores de veículos elétricos.

À medida que a dimensão crítica dos dispositivos semicondutores continua a diminuir, a sua sensibilidade aumenta. As fábricas de semicondutores modernas devem ter o cuidado de manter os semicondutores num ambiente completamente inerte e de protegê-los de qualquer forma de corrosão ou ataque químico.

O carboneto de silício é um material ideal para aplicações de semicondutores fruto da sua extrema inércia química. Por exemplo, o carboneto de silício Hexoloy^® da Saint-Gobain oferece uma pureza química extremamente elevada (>XNUMX%) sem silício puro, a par de uma resistência à oxidação superior mesmo a temperaturas elevadas. Tornando-o ideal para aplicações de manuseamento e inspeção de lâminas, onde a eliminação de contaminantes e a prevenção de reações químicas indesejadas é fundamental.

Hexoloy^® SA SiC é uma forma sinterizada sem pressão de carboneto de silício alfa com densidade extremamente elevada (mais de 98% do máximo teórico). Oferecendo uma estrutura de grão muito fina (4-10 micrómetros) e contendo zero silício puro, é também altamente resistente ao desgaste por rotação ou forças de deslizamento. O Hexoloy^® SA é idealmente adequado para aplicações de semicondutores, incluindo:

• Trituração de lâminas e chapas de polimento

• Discos para pratos a vácuo

• Grampos de lâminas

• Porta lâminas

• Tubos de reator para oxidação térmica

Outros produtos Hexoloy^® com aplicações de semicondutores incluem o condutor de eletricidade Hexoloy^® SG para alvos de pulverização, e Hexoloy^® SE para tubos de proteção termopar.

Adicionalmente, a nossa linha de produtos SiC siliconizados Silit^® explora a leveza e elevada rigidez do carboneto de silício para precisão absoluta e alta velocidade em equipamento de metrologia industrial. As nossas vigas Silit^® estabelecem uma referência de alto desempenho para as vigas de construção utilizadas nas fases de eixo Z, ponte e sustentação a ar.

A Saint-Gobain é uma líder mundial na produção de materiais refratários de alto desempenho para todas as aplicações. A par da nossa linha existente de produtos de carboneto de silício, oferecemos a nossa experiência através de soluções materiais únicas e inovadoras à medida das suas aplicações mais desafiantes. Para saber como a Saint-Gobain poderá ajudá-lo com a sua aplicação de engenharia, contacte-nos hoje para discutir o desenvolvimento conjunto de um novo material.

Utilizar componentes de carboneto de silício para manuseamento e inspeção de lâminas

Aplicações do carboneto de silício no fabrico de semicondutores

Produtos de carboneto de silício da Saint-Gobain para aplicações de semicondutores

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