Em comparação com o óxido de alumina, o carbeto de silício é um material mais leve, tem menor expansão térmica, maior condutividade térmica e maior rigidez específica.

Os componentes estruturais, tais como eixo Z, ponte e colunas de suporte são mais leves quando fabricados com carbeto de silício, permitindo viagens mais rápidas e maior capacidade para acomodar variações de temperatura.

As placas de carbeto de silício são uma excelente escolha para a fase de suporte de ar utilizada no equipamento de posicionamento, particularmente para a inspecção de pastilhas semicondutoras onde é aconselhável assegurar uma correspondência estreita entre a expansão térmica da pastilha de silício e a fase de carbeto de silício.